某企業(yè)主要從事半導體加工,生產(chǎn)期間伴隨著大量的廢水產(chǎn)生。
該企業(yè)正在籌劃新增一條半導體生產(chǎn)線,其中包括了芯片制備以及芯片封裝。由于該生產(chǎn)線是全天運行,每小時都會有大量的廢水排出,更對企業(yè)的污水處理站造成巨大的沖擊,因此需要擴建改造自身的污水處理站。
而半導體廢水會來源于清洗、光刻、刻蝕、去膠、銅制程、研磨和封裝等過程中,根據(jù)污染物又可以分為含氟廢水、酸堿廢水、含氨廢水、有機廢水、含金屬廢水等等。從這么多廢水分類就可以看出,處理半導體廢水時需要考慮很多的污染物,會采取更多的廢水處理工藝。
依照我們13年來,在半導體廢水處理工程的做法,分享幾個處理半導體廢水處理工藝。
半導體廢水處理工藝
處理含氟廢水常采用化學沉淀法
運用石灰,使氟離子與鈣離子形成CaF2,生成難溶于水的鹽類沉淀下來,從而降低水中這些溶解物質(zhì)的含量。可加入適量的絮凝劑使廢水中的氟化鈣形成便于分離的礬花,從而實現(xiàn)廢水中氟離子的分離。
處理酸堿廢水常采用中和調(diào)節(jié)法
將酸堿廢水進行酸堿中和,調(diào)整溶液的酸堿度(pH值),使其呈中性或接近中性,或適宜于下一步處理的pH值范圍。
處理含氨廢水常采用吹脫法
利用空氣通過廢水時與水中溶解氣體發(fā)生氧化反應,使水中溶解性揮發(fā)物質(zhì)由液相轉(zhuǎn)入氣相,并進一步吹脫分離的水處理方法。
處理有機廢水常采用生物法
生物處理方法就是用微生物降解水中的有機物,可根據(jù)微生物對氧氣的需求量分為好氧處理與厭氧處理。該方法的優(yōu)點是運行費用低,有機物的去除率高,處理過程消耗的能量少。
處理含金屬廢水常采用化學沉淀法
將化學沉淀劑(硫化物、氫氧化物等)加入重金屬廢水中,重金屬發(fā)生化學反應生成難溶解化合物而形成沉淀,再經(jīng)過濾、離心等方法分離出沉淀物過程。但是處理過程中產(chǎn)生大量的污泥需要進行妥善處理。