某企業(yè)主要從事半導(dǎo)體加工，生產(chǎn)期間伴隨著大量的廢水產(chǎn)生。

該企業(yè)正在籌劃新增一條半導(dǎo)體生產(chǎn)線，其中包括了芯片制備以及芯片封裝。由于該生產(chǎn)線是全天運(yùn)行，每小時(shí)都會(huì)有大量的廢水排出，更對(duì)企業(yè)的污水處理站造成巨大的沖擊，因此需要擴(kuò)建改造自身的污水處理站。

而半導(dǎo)體廢水會(huì)來(lái)源于清洗、光刻、刻蝕、去膠、銅制程、研磨和封裝等過(guò)程中，根據(jù)污染物又可以分為含氟廢水、酸堿廢水、含氨廢水、有機(jī)廢水、含金屬?gòu)U水等等。從這么多廢水分類就可以看出，處理半導(dǎo)體廢水時(shí)需要考慮很多的污染物，會(huì)采取更多的廢水處理工藝。

依照我們13年來(lái)，在半導(dǎo)體廢水處理工程的做法，分享幾個(gè)處理半導(dǎo)體廢水處理工藝。

半導(dǎo)體廢水處理工藝

處理含氟廢水常采用化學(xué)沉淀法

運(yùn)用石灰，使氟離子與鈣離子形成CaF2，生成難溶于水的鹽類沉淀下來(lái)，從而降低水中這些溶解物質(zhì)的含量?？杉尤脒m量的絮凝劑使廢水中的氟化鈣形成便于分離的礬花，從而實(shí)現(xiàn)廢水中氟離子的分離。

處理酸堿廢水常采用中和調(diào)節(jié)法

將酸堿廢水進(jìn)行酸堿中和，調(diào)整溶液的酸堿度（pH值），使其呈中性或接近中性，或適宜于下一步處理的pH值范圍。

處理含氨廢水常采用吹脫法

利用空氣通過(guò)廢水時(shí)與水中溶解氣體發(fā)生氧化反應(yīng),使水中溶解性揮發(fā)物質(zhì)由液相轉(zhuǎn)入氣相,并進(jìn)一步吹脫分離的水處理方法。

處理有機(jī)廢水常采用生物法

生物處理方法就是用微生物降解水中的有機(jī)物，可根據(jù)微生物對(duì)氧氣的需求量分為好氧處理與厭氧處理。該方法的優(yōu)點(diǎn)是運(yùn)行費(fèi)用低，有機(jī)物的去除率高，處理過(guò)程消耗的能量少。

處理含金屬?gòu)U水常采用化學(xué)沉淀法

將化學(xué)沉淀劑（硫化物、氫氧化物等）加入重金屬?gòu)U水中，重金屬發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成難溶解化合物而形成沉淀，再經(jīng)過(guò)濾、離心等方法分離出沉淀物過(guò)程。但是處理過(guò)程中產(chǎn)生大量的污泥需要進(jìn)行妥善處理。